空气中STM的高精度粗糙度测量

来源 :哈尔滨科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：csliu08

【摘要】

：

<正> 表面粗糙度是摩擦学中描述物体表面特征的重要参数.现有的表面粗糙度测量技术在水平或垂直精度上经常有一定的局限性,而且费时,有时,导致在测量过程中试件不良变化.相反

【作者】

：

Lin IS 姜莉

【机构】

：

哈尔滨科学技术大学

【出处】

：

哈尔滨科学技术大学学报

【发表日期】

：

1993年2期

【关键词】

：

表面粗糙率测量 STM

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<正> 表面粗糙度是摩擦学中描述物体表面特征的重要参数.现有的表面粗糙度测量技术在水平或垂直精度上经常有一定的局限性,而且费时,有时,导致在测量过程中试件不良变化.相反,应用隧道扫描显微镜测量时精度高、快速、无损,使用廉价方便.本文的目的是向摩擦界介绍这一新技术.本文将描述有关隧道扫描显微镜的设计和在空气中物体表面进行普通和高精度粗糙度测量的一些设想.还将通过一些应用实例阐明技术细节,对本技术的局限性及解决办法也作了讨论.

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