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AlGaN/GaNHEMT器件研究
AlGaN/GaNHEMT器件研究
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zq09171
【摘 要】
:
叙述了AlGaN/GaNHEMT的特点及制造工艺,给出其测试结果,最大跨导~157ms/mm,由S参数测量推出器件的截止频率fT和最高振荡频率fmax分别为12GHz和24GHz.
【作 者】
:
曾庆明
吕长志
刘伟吉
李献杰
赵永林
敖金平
徐晓春
【机 构】
:
信息产业部电子第十三研究所,石家庄市050051;北京工业大学固态电子学研究所,北京市100022;
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
GaN
HEMT
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叙述了AlGaN/GaNHEMT的特点及制造工艺,给出其测试结果,最大跨导~157ms/mm,由S参数测量推出器件的截止频率fT和最高振荡频率fmax分别为12GHz和24GHz.
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