THE SURFACE EFFECT ON THE TENSILE STRENGTH OF MICROMACHINED POLYSILICON FILMS FOR MEMS

来源 :固体力学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：best0909

【摘要】

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In order to accomplish reliable mechanical design of MEMS, the influences of surface roughness and octadecyltrichlorosilane (OTS) self-assembled monolayers (SAM

【作者】

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DingJianning YangJichang WenSh

【机构】

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CenterforMicro／NanoScienceandTechnology,NationalTribologyLaboratory

【出处】

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固体力学学报：英文版

【发表日期】

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2005年1期

【关键词】

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多硅晶体表面效应粗糙度力学性质自安装单层薄膜物理学 polysilicon mechanical properties surface rough

【基金项目】

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国家自然科学基金，教育部优秀青年教师资助计划，高等学校全国优秀博士学位论文作者专项基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)

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In order to accomplish reliable mechanical design of MEMS, the influences of surface roughness and octadecyltrichlorosilane (OTS) self-assembled monolayers (SAMs) on the mechanical properties of micromachined polysilicon films for MEMS are investigated. S

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