【摘 要】
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针对空间激光通信光学系统在800±5 nm和1550±5 nm收发效率大于98%的要求，采用Essential Macleod膜系设计软件结合物理气相沉积设备，在微晶玻璃上完成了空间激光通信光学系统中近红外反射膜的研制。提出行星夹具补偿挡板的修正方法，可将口径300 mm基片的薄膜厚度均匀性提高至99%。利用Lamda1050光谱仪测试了反射镜的光谱曲线，结果表明所研制的膜层在800±5 nm和1
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（No.11947060）资助；
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针对空间激光通信光学系统在800±5 nm和1550±5 nm收发效率大于98%的要求，采用Essential Macleod膜系设计软件结合物理气相沉积设备，在微晶玻璃上完成了空间激光通信光学系统中近红外反射膜的研制。提出行星夹具补偿挡板的修正方法，可将口径300 mm基片的薄膜厚度均匀性提高至99%。利用Lamda1050光谱仪测试了反射镜的光谱曲线，结果表明所研制的膜层在800±5 nm和1550±5 nm处反射率均值分别为99.3867%和99.1717%,满足技术指标要求。对实验样品开展了面形、附着力和高低温等环境适应性试验，试验结果满足空间激光通信光学系统使用要求。
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