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针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.
PCB激光投影光刻照明系统的设计
【摘 要】
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针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计
【机 构】
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广东工业大学物理与光电工程学院
【出 处】
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广东工业大学学报
【发表日期】
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2007年02期
【基金项目】
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广州市科技计划项目(2006Z3-D0041)
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