半导体金属互连集成技术的进展与趋势

来源 :金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wxws008

【摘要】

：

集成电路(IC)技术的快速发展对金属互连技术提出了更高的要求.传统的Al金属互连技术已经不能满足现代互连技术发展的需要,大马士革结构的Cu金属互连技术已成为互连技术的重点

【作者】

：

黄浩魏喆良唐电

【机构】

：

福州大学,福州大学

【出处】

：

金属热处理

【发表日期】

：

2004年8期

【关键词】

：

集成电路金属互连巨大规模 integrated circuits metal-interconnect ULSI

【基金项目】

：

福建省国际合作项目

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

集成电路(IC)技术的快速发展对金属互连技术提出了更高的要求.传统的Al金属互连技术已经不能满足现代互连技术发展的需要,大马士革结构的Cu金属互连技术已成为互连技术的重点发展方向之一.本文重点介绍了目前Cu互连技术及其面临的关键问题,同时还介绍了近期出现的新型Ag互连技术,最后对未来互连技术的发展趋势提出了思考与展望.

其他文献

多元铝青铜铸态下的组织与力学性能

利用X射线衍射仪、扫描电镜和能谱分析仪对CuAl14-X铝青铜铸态试样进行了组织观察、结构分析和各种力学性能测试,探讨了组织结构与力学性能的关系.结果表明,铸态组织为α+β

期刊

多元铝青铜铸态组织力学性能multi-aluminum bronzeas-cast microstructuremechanical properti

如何做好医院宣传工作

随着医药卫生体制改革的不断深入和人民群众就医要求的逐步提高，医疗市场的竞争日益激烈，广大医院管理者越来越认识到宣传工作的重要性，因此做好医院宣传工作，确保发挥最好的宣传

期刊

医院宣传工作医药卫生体制改革医院管理者人民群众医疗市场宣传效果

预算管理在医院财务工作中的运用

医院财务管理是医院经济工作的核心,是医院管理的重要组成部分,在医院管理中的地位和作用也越来越重要,为了保证医院的经济健康蓬勃发展,必须建立适应现代医院管理的财务管理

期刊

财务管理预算核算成本分析医院

实行药房托管信息化实现药房托管的长效管理

我院于2003年8月18日，将药房交给公司进行托管，运行四年多来，经过积极探索，不断完善，实现了医院信息系统与药房托管信息化管理的对接，实现了管理的科学化和用药的透明化。

期刊

药房托管信息化管理长效管理医院信息系统科学化

Cu-Al-Y合金稀土催渗渗铝及内氧化研究

提出了利用稀土化合物CeCl3对Cu-Al-Y合金进行催渗渗铝，研究了工艺参数对渗层厚度和质量的影响；采用工业N2中的余氧作为内氧化介质对Cu-Al-Y合金渗铝后的试样进行内氧化，研究了

期刊

Cu-Al-Y合金渗铝内氧化弥散强化Cu-Al-Y alloy Aluminizing Internal oxidation dispersion

不同冷速对微变形齿轮钢组织和力学性能的影响

对新型微变形齿轮钢在不同冷却速度下的组织和力学性能进行了研究.结果表明,该钢随炉冷却时主要获得粒状组织,用硅酸铝纤维包冷时为粒状组织和粒状贝氏体的混合组织,空冷状态

期刊

微变形齿轮钢GDL—1空冷粒状组织粒状贝氏体束状贝氏体microdistortion gear steel GDL-1air coolinggra

脉冲电子束处理对高速钢表面组织的影响

研究了真空脉冲电子束处理对W6Mo5Cr4V2高速钢表面熔凝层组织的影响.结果表明,经过脉冲电子束处理后,高速钢试样表面形成组织明显细化的表面熔凝层,同时在熔凝层下还形成了晶

期刊

脉冲电子束表面处理W6M05Cr4V2高速钢pulsed electron beamsurface treatmentW6Mo5Cr4V2 high-

提高皮鞋勾心强韧性的工艺

通过对50钢制造的某一型号的皮鞋勾心经贝氏体等温淬火与常规淬火+回火处理后的组织和性能的对比分析,结果表明经等温淬火后可获得B下+M少量双相组织,180°弯曲试验全部

期刊

皮鞋勾心贝氏体等温淬火组织性能leather shoe hooked heartausetmperingstructureproperties

半导体金属互连集成技术的进展与趋势

其他学术论文