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中共东莞市委 东莞市人民政府关于东莞市2022年法治政府建设情况的报告
【出 处】
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东莞日报
【发表日期】
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2020年01期
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硼磷硅玻璃膜（BPSG）是在等离子增强型化学汽相淀积（PECVD）系统中淀积的。在一个可容纳70个园片（片径100毫米）的淀积区内,膜厚度均匀性好于±5％、膜中掺杂量的变化低于±0.5％（重量）。具有保形台阶覆盖的淀积速率是200～300埃/分。本文概述了一种用离子色谱法来对掺杂物分析的新技术,也是作为用更通用的仪器进行快速无损分析的一种技术。最后,在本文中还表示了在各种掺杂浓度下低回流处理温度和
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