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气动系统已在自动化生产中得到了广泛的应用。然而，电气比例压力阀作为气动系统中最常见的控制阀，其稳态精度和分辨率是影响气动系统控制精度的主要因素之一。超声电机作为一种精密的驱动器，已被广泛应用于各个领域。本文提出采用一种贴片式弯曲振动模态超声电机作为喷嘴挡板式先导型电气比例压力阀的驱动器，以求提高现有电气比例压力阀的稳态精度和分辨率。本文通过建立贴片式弯振模态超声电机的质点轨迹方程，给出了该类型超声电机端面的运动行波，进而解释了该类型超声电机的运行机理。通过推导定子的力系数公式，研究了压电片的