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宽禁带半导体TiO_2在光学薄膜、光催化剂和稀磁半导体等领域都具有广泛的应用前景。过渡族金属掺杂能够有效地改善TiO_2的微观结构和性能,是近年来凝聚态物理和材料科学领域的研究热点之一。本论文采用对向靶直流反应磁控溅射法制备了锐钛矿相和混合相多晶Ti_(1–x)M_xO_(2–δ) (M=Fe, Cr)系列薄膜样品,对它们的化学成份、微观结构、光学和磁学性质进行了系统研究。在Fe和Cr掺杂锐钛矿相TiO_2薄膜中,Fe和Cr元素的化合价态均为+3价;在Fe掺杂混合相TiO_2中,出现了少