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本论文结合国家自然科学基金项目“精密装置仿生隔振系统理论及基础技术研究”(No.50075078)，从理论分析和实验研究两方面，对微制造隔振平台控制理论和主动振动控制技术进行了深入、系统的研究。 第一章首先阐述了微制造隔振平台主动振动控制研究意义；然后，对国内外主动控制理论和致动器的研究现状进行回顾及评述，指出了微制造隔振平台控制理论和主动振动控制技术研究的重要意义；最后，介绍了本学位论文的主要研究内容。 第二章对微制造隔振平台结构和致动器安装