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硫化锌光学元件射频离子束刻蚀技术研究
【摘 要】
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随着光学技术的不断发展,对光学元件的精度要求越来越高。硫化锌材料具有良好的红外特性,其光学元件在红外窗口、整流罩等方面被广泛应用,但这些应用对硫化锌表面粗糙度具有较高要求,而离子束抛光可以加工出高精度的光学元件。因此,对硫化锌光学元件的离子束抛光研究具有很高的应用价值。本文主要采用离子束刻蚀技术对硫化锌晶片进行刻蚀抛光。首先利用SRIM软件模拟了入射离子轰击硫化锌表面。采用离子束刻蚀机直接刻蚀硫化
【机 构】
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西安工业大学
【出 处】
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西安工业大学
【发表日期】
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2020年03期
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