一种大量程压阻式压力传感器的设计

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当今社会,计算机技术不断的发展,信息处理技术也随之不断的发展完善。而传感器作为提供信息的一种工具,它的发展就显得相对落后了。传感器技术是21世纪人们在高新技术发展方面争夺的一个制高点,在当代科技领域中占有十分重要的地位。人们开始越来越多的关注传感器技术。近年来,传感器技术的研究与开发取得了一定成果,但它远不能满足人们实际的需求,压力测量领域的发展更为迫胁。在现代工业自动化生产过程中,为了使设备工作在正常状态或最佳状态,并使产品达到最好的质量,必须运用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数。因此,没有优良的传感器,现代化生产也就失去了根基,我国在20世纪90年代后将传感器的研究放在重要位置上。压阻式压力传感器也是传感器中最常用的一类传感器,但是性能不稳定,价格昂贵是我们面临的一个问题。如何让传感器不仅在航天领域广泛应用,在民用领域也有广阔市场呢,就需要我们生产的传感器高质量低成本。本论文对压阻式压力传感器的原理进行了深入的研究,依据压阻效应原理,采用硅微机械加工技术,制作敏感探头,经过信号调理电路进行放大、归一化处理,输出所需要的信号。由于该传感器需要应用到恶劣的环境条件下,因此本设计对温度补偿电路进行了完善的设计,并充分考虑了传感器的电磁兼容性及可靠性,使传感器具有较高稳定性,能承受严酷的环境条件。本研究设计的压阻式压力传感器已通过试验考核合格,它的性能是其它传感器无法比拟的,它全金属结构可以承受严酷的环境条件。它具有结构简单,量程范围大、精度高、产品性能稳定及小型化等特点。由于该传感器价格低,因此在民用产品市场上也有广阔的应用前景。
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