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随着高科技领域的飞速发展,对于微流控芯片的需求不断增加。有机玻璃PMMA价格低廉,成型方便,具有良好的光学性能和生物兼容性,是目前制作微流控芯片的一种主流材料。激光辅助微铣削技术作为一种先进的加工技术,为微流控芯片提供了一种新的加工途径。以有机玻璃微通道的激光辅助微铣削加工为背景,探究了准分子激光辅助微铣削加工机理。在此基础上设计并搭建了248nm准分子激光辅助微铣削加工系统,最后在搭建的加工系统上对准分子激光辅助微铣削加工有机玻璃微通道进行了实验研究,初步研究了准分子激光辅助微铣削工艺参数。综述了