【摘 要】
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该文结合国家自然基金重大项目“敏感陶瓷薄膜制备方法、结构与性能关系”课题内容,首次采用可溶性无机盐为原料,以液相的溶胶-凝胶工艺和气相微波等离子体化学气相沉积工艺,
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该文结合国家自然基金重大项目“敏感陶瓷薄膜制备方法、结构与性能关系”课题内容,首次采用可溶性无机盐为原料,以液相的溶胶-凝胶工艺和气相微波等离子体化学气相沉积工艺,制备出了SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>系铁电陶瓷薄膜,并对制膜过程机理、影响因素、性能特性等进行了系统研究.该文首先选用可溶性无机盐原料替代传统的金属有机物盐类作SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>薄膜的前驱体.该文接着对采用溶胶-凝胶工艺制备的SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>薄膜进行了深入的研究.该研究中首次提出采用溶胶雾化为反应源,利用微波等离子体化学气相沉积技术制备薄膜的新思路.最后针对液相法与气相法制备SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>薄膜过程中的不同之处进行了对比,并用界面理论进行了分析.
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