制备氧化铝纳米粉体的反应室中气体流场研究

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氧化铝具有良好的化学稳定性、耐磨性和吸附性,氧化铝纳米粉体适于制作隔热材料。目前,制备氧化铝纳米粉体的主要方法有:固相法、液相法、化学气相沉积法。其中,化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)有望成为一种大规模制备高质量氧化铝纳米粉体的方法。它是利用氯化铝和水蒸气在反应室中反应生成氧化铝纳米粉体。近年来,国内外对氧化铝纳米粉体的制备有较多研究,但关于化学气相沉积法反应室气体流场对氧化铝制备影响方面的研究则鲜见报道。然而,反应室气体流场是制备氧化铝纳米粉体的重要
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