MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析

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【摘要】

：

微机电系统(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)中利用声辐射力分离流体中的悬浮颗粒具有特别的优势,国内外研究人员在这方面已取得了诸多成果,主要是基于平面驻波和层流分离悬浮颗粒的原理建立多层谐振结构的超声微分离器模型。另外,国外也有人研究基于二维超声驻波场的MEMS器件,但并没有建立起这些MEMS器件二维超声驻波场的完整的理论声学模型,在二维模式下成功分离出大量

【作者】

：

华晨辉

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

MEMS 超声分离器简正模式等效电路

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