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本文介绍了面阵CCD在工业非接触测量中的应用,阐明了面阵CCD工业非接触测量系统的组成及工业应用中需解决的问题,说明了面阵CCD基片分类机测量系统的方案选择、系统组成、光学系统设计及测量的软件系统,并针对其生产应用详细分析了它的硬件系统误差及软件算法,比较选择了滤波、边缘检测、像素细分的算法以控制系统的精度与速度。