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技术侦查证据使用问题研究
【出 处】
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东南大学
【发表日期】
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2020年01期
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基于隧穿磁阻效应的MEMS重力敏感器,由于高灵敏度、体积小、功耗低等优点,逐渐在高精度重力测量设备领域得到广泛应用。本文结合MEMS制造工艺,设计了隧穿磁阻式重力敏感器的结构和检测电路,并对静电力反馈闭环控制技术进行了研究,主要的研究内容及相关结论如下:（1）分析了隧穿磁电阻的优点并说明隧穿磁阻效应的原理,构建了隧穿磁阻式重力敏感器的基本力学模型,研究了研制的隧穿磁阻式重力敏感器的磁场产生原理和重