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光学开关是一种在民用领域应用广泛的MEMS光路转换元件，具有低能耗、高响应、高精度、低成本等诸多优点，应用范围正从民用领域转向军用领域，并不断向其它领域扩展。传统的二维平面光路转换光学开关技术已经成熟，但转换范围仅能局限在较小的平面空间，为了提高光学开关的转换范围，本文根据传统光学开关的不足，提出一种能进行三维空间转换的新型MEMS光学开关。通过对多物理场耦合情况下的分析，简化光学开关模型，分析了在惯性力场，静电力场与不同形式阻尼作用下光学开关的物理力学特性，从而为光学开关的设计提供理论基础