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干涉信号处理方法作为激光干涉系统的核心,一直以来倍受人们的关注。在激光干涉仪中,测量精度在很大程度上取决于信号处理方法。为达到纳米级的测量精度,激光干涉仪都毫无例外的需要对干涉条纹信号进行细分,细分的精度决定了干涉仪的测量精度。所以现今对激光干涉仪的研究主要集中在对干涉信号细分的研究上。 本文以国家自然科学基金课题“基于合成波长条纹细分原理的纳米测量方法研究”为依托,参与了理