可低压驱动的钛酸钡薄膜场发射研究

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【摘要】

：

场发射平板显示技术是实现阴极射线管显示平板化的方案之一,其核心技术是可低压驱动的高亮度场发射阴极。文中提出了一种结合了Spindt微尖和传统金属-氧化物-半导体(MOS)结构两者的优点的新型的场发射阴极结构,即利用钛酸钡薄膜代替MOS结构中的氧化物绝缘层,用具有微孔网状结构的薄金属膜作为栅极代替MOS结构中的金属层。本文使用射频磁控溅射法沉积钛酸钡薄膜在硅衬底上,之后再在此基础上沉积大约15nm厚

【作者】

：

刘爱青

【机构】

：

中国海洋大学

【发表日期】

：

2006年04期

【关键词】

：

场发射磁控溅射钛酸钡发射效率

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