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采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO_2/Si衬底上制备了四种体系的铁电薄膜。首先制备了Ho和Cr共掺的Bi_(1-x)Ho_xFe_(0.97)Cr_(0.03)O_3(BH_xFCO)铁电薄膜,并探究共掺后薄膜的电学性能;其次制备了Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3(NBT)和(Na0.82K0.18)_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3(NKBT)薄膜,验证了三方-四方的准同型相对铁电薄膜性能的影响;最后以NKBT为基体,掺入BHFCO,二者固溶形成(1-x)NKBT-x