论文部分内容阅读
近年来,微纳米技术在国内外得到飞速发展,对现代社会的进步起到了至关重要的作用。扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)等超高分辨率仪器的运用越来越广泛,其在科学研究、工业生产等多方面都起到了十分重要的作用,已经成为微纳米领域里不可缺少的重要检测工具。其中AFM因其不受被测样品导电性能的限制以及优越的性能而被广泛应用于微纳米领域。目前,世界上现有的AFM,其探头大多数都使用单一的扫描器,只能实现一种扫描方式,并且无法实现可移动选区域扫描,在技术指标和性能上都存在一定的局限性。为此,本文提出了一