塔式微型压电气体压缩机的设计与试验研究

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为满足集成化微小系统高压力/大流量的应用需求,本文提出一种塔式微型压电气体压缩机,通过一组容积量(压缩腔高度/压缩单元数量)递减(从入口腔到出口腔)串联压缩腔体逐级驱动、进而实现气体累积压缩增压。所探究的塔式微型压电气体压缩机的串联压缩腔体的串联级数为三级,且串联压缩腔体容积量逐级递减以便前一级压缩腔体吸入大体积气体以充足供应下一级压缩腔体压缩,可有效累积各级压缩腔体气体压缩量实现高压力/大流量输出。从理论和试验两方面对塔式微型压电气体压缩机进行了系统的研究,具体内容包括:1.运用压电学理论与板壳理
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