本课题就是研究吸附效应对纳机电系统(Nano—electromechanical system NEMS)中常用的纳米梁特性的影响。 全文分为三个主要方面进行研究：吸附效应对纳米梁谐振频率的影响、吸附效应对纳米梁品质因数的影响和吸附诱致的表面应力。前面两个内容属于动态特性的分析，主要进行理论分析和计算，第三个研究内容属于静态特性的分析，主要是利用分子动力学软件进行模拟。结果表明，吸附效应对纳米梁谐振频率的影响很大，远远大于空气阻尼的影响；在一定的环境中，对其Q值也有一定的影响；吸附会产生表面应力，引起纳米悬臂梁的变形。因此，我们认为，到了纳米尺度，吸附效应的影响变得不可忽略，在某些方面，其影响甚至占主导地位。 本课题的研究对设计NEMS器件，分析器件特性具有一定的参考意义。