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随着微纳米技术的成熟,越来越多的精密型微小器件被生产和制造出来。对于这些精密、易损的微小器件来说,精密装配已经不是手工装配所能完成的任务,因此,对于精密型微小器件的装配系统已逐渐成为业界关注的焦点。本文针对真空吸附式的微小器件装配系统,主要研究内容如下:首先,研究了微小器件装配系统的总体技术,各个系统功能的构成以及相互之间的协作关系,并提出了相应的提高系统装配精度的装配方法,然后对整个装配系统的高精度进行分析。其次,对微小器件装配系统的运动坐标轴进行了X、Y坐标轴的定位精度研究,并通过误差补偿的方式