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在激光系统中,光学薄膜总是扮演着重要的角色。一旦薄膜被损坏,将会影响整个系统的功能。因此,随着激光器向高强度大功率方向发展,对光学薄膜的抗激光损伤阈值的要求越来越高。Nb_2O_5材料具有高折射率、较好的耐化学腐蚀性,被广泛应用于光学薄膜领域。本文使用溶胶-凝胶法制备Nb_2O_5薄膜,并系统的研究了Nb_2O_5薄膜的光学性能、抗激光损伤阈值及其温度效应,并通过对其阈值及其损伤形貌的变化规律分析,研究Nb_2O_5薄膜的损伤机制。最后,通过增加SiO_2薄膜添加层,寻求提高溶胶-凝胶Nb_2O_5