亚毫米波在电磁波频谱中处于红外线与毫米波之间非常重要的位置,因此在学术上有很重要的研究价值。随着系统工作频率的不断升高,系统对毫米波、亚毫米波固态源的需求不断增加,而倍频器是获得毫米波、亚毫米波源的最有效方式,所以进行毫米波、亚毫米波倍频器的研究对通信、雷达、医疗、环境监测、物理成像等领域都具有重要意义。毫米波倍频器可扩宽设备工作频段并降低振荡频率,是研制稳定信号源的重要手段,是毫米波系统的重要组成部分。鉴于非线性器件所产生的三次谐波分量较小,所以三倍频器的研制相比偶次倍频器更具难度。本文选用肖特基势垒二极管作为非线性器件,基于反向并联管对结构,利用共面波导设计匹配网络,微带线设计滤波网络,最终实现了Q波段共面波导-微带混合集成宽带三倍频器。其输出频率为36GHz-54GHz,在整个频带内的倍频损耗小于20dB、回波损耗大于10dB。文中首先阐述了毫米波倍频器,尤其是三倍频器的国内外发展动态,其次详细地介绍了共面波导传输线的特点以及多种共面波导的不连续结构,接着分析了奇数次倍频的原理及肖特基二极管的性能,之后分别讨论了匹配、滤波与过渡电路的几种方案,抉择后进行电路的整体仿真,最后完成三倍频器的加工与测试工作,并针对测试结果而提出了改善电路的几点建议。