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该论文介绍了椭偏光谱技术的反射和透射两种测量分析方法.利用了椭偏光谱的反射方法分析测量了几种光电薄膜材料的光学常数谱和薄膜的厚度,以及对薄膜的成分进行分析;利用透射椭偏测量的方法测量了薄膜的电光系数,得到了利用椭偏仪测量计算电光系数的公式.椭偏光谱技术主要是通过对光波的相位和振幅的改变,理论模型的拟合得到其光学常数和电光系数.除主要作椭偏光谱测量外也结合了一些其它的测量手段,如X射线衍射实验(XRD)、拉曼光谱(Raman)和原子力显微分析(AFM)等进行了分析.