超导纳米线单光子探测器(SNSPDs)是基于超导纳米线的热点(hotspot)效应对单个光子进行探测的器件。目前SNSPDs被广泛用于量子通信、生物荧光分析、VLSI CMOS电路非接触高速测试这些领域。波导集成的超导纳米线单光子探测器是在2009年被提出来的一种新型器件结构,这种结构可以实现硅基器件和SNSPD的集成,并且只要纳米线足够长,器件都可以实现接近百分之百的吸收效率。目前,关于波导集成的SNSPD的研究都集中于1550 nm波长处,还未有人在宽谱范围内对波导集成SNSPD的器件特性进行研究。另外,关于SNSPD的偏振不敏感特性,尽管有研究组进行了研究,但这些研究都是针对传统回形线结构的SNSPD。本文旨在设计并加工一个在红外宽谱范围(1200 nm到1700 nm)高效率且偏振不敏感的波导集成的SNSPD。研究方法是在光学方面优化设计波导结构,使得器件对较大范围的红外波长都有高的吸收效率;其次是对超导氮化铌薄膜的制备和表征;最后是对波导集成SNSPD的加工。本论文取得的主要研究成果有:1.设计了基于超细纳米线(30nm宽)的波导集成的SNSPD,器件在1200 nm到1700 nm波段,只要波导长度大于110mm,对于准TE模式和准TM模式都可以实现接近百分之百的吸收效率。2.利用反应直流磁控溅射,在硅和二氧化硅衬底上溅射了厚度约为6 nm,超导转变温度为10.8 K的氮化铌超导薄膜;3.初步加工了波导集成的红外SNSPD器件,摸索了电子束曝光纳米线和波导时的剂量。