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钒氧化物由于具备热致相变等特殊性能得到研究者的广泛关注,并在光电元件、润滑、传感器、多相催化等领域得到应用,目前应用微结构技术改善氧化钒材料的性能已经成为一个主要的研究方向。本文主要制备有序微结构的氧化钒薄膜材料,并研究其光学性质和形貌特性。鉴于目前研究工作主要集中在尺寸为纳米级的材料上,对亚微米级的材料研究相对较少,本文主要工作集中在二维有序亚微米级结构氧化钒薄膜的制备和光学性质研究。本文主要工作是通过空气-液面自组装法在洁净的玻璃衬底上制备出单层大面积的聚苯乙烯微米球掩膜板,采用射频磁控溅射法在