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压电驱动式微泵简称压电泵,是一种利用逆压电效应驱动介质的微型液压泵,它具有体积小、响应快、无电磁干扰、输出精度高、易于控制等特点,是微机械流体系统中的重要执行部件。经过三十多年的研究和发展,压电泵已广泛应用在航空航天、微机电系统、智能机器人等领域。随着压电泵的应用领域越来越广泛,不但对压电泵的工作性能提出了更高的要求,而且要求压电泵能够适应更多的工作环境外,输送特殊性质的液体,这对泵体材料的选择提出了较高的要求。为进一步拓展压电泵的应用领域,以利于更好地将其集成于微流控芯片中,本文对以聚二甲基硅氧烷