基于ECR等离子体辅助脉冲激光沉积的氧化锌薄膜制备与氮掺杂

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【摘要】

：

本论文主要研究方向为利用激光烧蚀和微波放电联合作用摸索一种制备氧化锌薄膜材料的新方法,并在此基础上研究氧化锌的性质和氮掺杂。这种方法结合了脉冲激光沉积法和电子回旋共振(electron cyclotron resonance)微波放电两种技术的优点,形成了独特的电子回旋共振等离子体辅助脉冲激光沉积(electron cyclotron resonance plasma assisted pulse

【作者】

：

邵劼

【机构】

：

复旦大学

【发表日期】

：

2008年04期

【关键词】

：

氧化锌薄膜氮掺杂脉冲激光烧蚀和沉积电子回旋共振微波放电等离子体等离子体辅助沉积

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