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太赫兹(THz)波是指频率在0.1-10THz范围内的电磁波。THz偏振器是太赫兹系统的关键器件之一,其性能的好坏直接影响到THz技术在探测、通信、天文、生物医学等领域中的应用。本文以金属线栅型太赫兹偏振片为研究对象,从理论仿真和实验加工两个方面开展研究,提出并实现了一种新型两面双层金属线栅型结构的超高消光比THz偏振器,主要内容如下:1、基于CST STUDIO软件仿真建立了金属线栅型太赫兹偏振器的仿真模型,详细分析了单面单层、单面双层和两面双层结构THz偏振器的器件参数对其性能的影响,证实了本文提出的两面双层结构THz偏振器具有高消光比的特性,其理论计算的消光比是单面单层结构的近4倍。2、详细研究了金属线栅型太赫兹偏振器的微纳加工工艺,利用表面生长氮化硅层的硅片作为基底,避免了双层加工后直接镀膜引起的透过率降低等问题,实现了周期4微米,线宽2微米,刻蚀深度1微米的两面双层金属线栅型THz偏振器的制备。3、采用太赫兹时域光谱分析系统(THz-TDS)测试偏振器的性能,结果表明,两面双层金属线栅型THz偏振器在0.5-2.0THz范围内具有低插入损耗,平均60dB消光比(最高87dB)的超高性能。本文研究设计的这种新型两面双层金属线栅型结构THz偏振器,从理论仿真和实验加工测试上均证明了其性能的优势,对今后THz系统的优化具有较重要的参考价值。