SMA微驱动器及双稳态MEMS继电器的研究

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【摘要】

：

本文研究了一种微驱动器及继电器,其设计原理采用基于机械操纵触点导通的机电方式,制作采用MEMS微细加工工艺,单个器件的整体尺寸仅为10mm×5mm×1mm(硅基底上制作)。它主要由对称分布的两个微驱动器和对称结构的永磁双稳态结构构成。微驱动器驱动后推动中间的十字形扭梁,可以实现两端电路通断的切换;通过下部永磁体和磁回路结构,可以实现电路闭合时的稳态的保持,从而实现低功耗的双稳态机制。本文使用射频磁

【作者】

：

王亚攀

【机构】

：

上海交通大学

【发表日期】

：

2010年01期

【关键词】

：

微机电系统(MEMS) 继电器 TiNi基形状记忆合金薄膜 ANSYS仿真微细加工工艺

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