随着我国经济的高速发展,能源开发对国民经济,社会发展乃至国家安全而言显得日益重要,其中石油供应是国家能源安全问题中最为迫切的问题。为缓解我国油气供不应求的现状,增加石油储备,寻找油气勘探战略接替区已经成为当务之急。鉴于容易找到的资源已经被发现和开采,亟待于提高勘探技术。地震检波器作为执行石油勘探的第一道工序的仪器,其性能的好坏,直接影响到数据采集的质量。本研究为国家自然科学基金资助项目“光电集成加速度地震检波技术理论与实验研究”(No.40274047)的主课题。该研究首次提出一种新型的微光机械(MOEMS)加速度地震检波器,该器件集光波导传感技术与硅微机械技术于一体,具有高灵敏度、宽频带、高精度、体积小、集成度髙等优良特性,适合在高温高寒等恶劣环境下稳定工作,而且有望解决传统光纤传感器向微型化和批量生产时遇到的装配困难及长期稳定性问题。本论文主要完成以下研究工作:1.简要分析了当前传感器的技术现状及发展要求,传感器的分类,并侧重介绍了光相位调制传感器。研究了相位调制型波导传感器的传感机理,由光弹效应给出了相位变化公式。最后探讨了光相位解调方法。2.对整个系统的设计进行了理论分析和仿真。3.本文主要在检波器的研制上进行了大量的工作,课题的重点和难点为大跨度M—Z波导干涉仪和十字梁简谐振子的工艺制作,因此主要对大跨度M-Z波导干涉仪和十字梁简谐振子的制作进行了理论分析和详尽的工艺研究。经过氧化、光刻、溅射、HF腐蚀、各向异性溶液腐蚀以及多次套刻,针对波导干涉仪和十字梁简谐振子制作中出现的各种问题进行了大量的工艺试验研究和工艺改良,在大量的试验中得到了一些有参考价值的工艺参数。最终制作出了大跨度波导干涉仪芯片,进行了通光测试,基本满足要求;对十字梁简谐振子的制作进行了工艺改良,并进行了二者的集成。