【摘 要】
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该文主要研究的方向是MQCM的设计优化,主要工作集中在MQCM的谐振元振动耦合问题研究.具体作了以下几项工作.(1)首先对当今世界范围内在MQCM这一领域的研究及应用状况进行了全
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该文主要研究的方向是MQCM的设计优化,主要工作集中在MQCM的谐振元振动耦合问题研究.具体作了以下几项工作.(1)首先对当今世界范围内在MQCM这一领域的研究及应用状况进行了全面的介绍.(2)继而在MQCM的谐振元振动耦合数值计算方面,利用有限元方法,对MQCM的振动耦合进行了计算.(3)在MQCM的实验研究方面,简单描述了在MQCM元件加工过程中用到的各种工艺,介绍了作者自行设计加工的MQCM元件.对这套元件进行了初步的实验研究,观察了振动耦合的电气性能和振动耦合对石英片谐振频率的影响,以及不同谐振元尺寸对振动耦合的影响.利用石英谐振器的等效电路方法对振动耦合问题作了分析,总结了振动耦合的谐振元的等效电路,为进一步的MQCM的分析和设计工作提供了实验基础.
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