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该文介绍一种用于光纤陀螺信号处理的集成光学器件的研制工作.这是一种工作波长为1.3μm,集分束器、相位调制器和偏振器为一体,采用推拘电极的单YLiNbO<,3>器件.文章理论分析了YLiNbO<,3>光波导的特点和制作原理、电极设计的原理、缓冲层对器件性能的影响.为了实现低的半波电压、高的偏振消光比、低的尾纤串音、低插入损耗和好的分束比对器件进行了优化设计.文章介绍了制作这种器件具体过程,以及一些关键技术,包括制作光波导的质子交换退火法(APE),电极的制作、缓冲层的制作、抑制背向反射的方法、光纤与芯片的耦合技术等.实际制作了器件并对器件的技术指标进行了测试.对器件的可靠性进行了分析,并指出今后的改进措施.经测试器件的各项指标完全满足设计要求:插入损耗loss≤5.0dB,分束比优于50:5.(±3﹪),尾纤偏振串音pigtailingpolarizationcrosstal≤-30.0dB,半波电压V<,π>≤5.0V,背向反射backreflection≤-50dB.器件各指标达到国外同类产品20世纪90年代中期的水平,在国内处于领先水平.目前这种器件已经小批量生产,有较大的市场需求.