在氧化铟锡（ITO）阳极表面进行自组装单分子层（SAMs）修饰是提高有机电致发光二极管（OLEDs）性能的重要方式。为探究SAMs分子结构与修饰效果之间的关系,本文从SAMs分子的活性头基、强电负性基团、共轭程度、杂原子四个角度进行研究。使用活性头基分别为-COOH、-H₂PO₃和-Si（OCH₃）₃的苯甲酸（BA）、苯基膦酸（PPA）和三甲氧基苯基磷酸（PMS）分子对ITO进行SAMs修饰。根据接触角与XPS测试的结果得到三者在ITO表面的修饰密度,其中PPA修饰密度最高,为3.5;BA次之为1.7;而PMS的修饰密度要远低于前两者,仅为0.3。综合考虑修饰密度和合成难易程度,羧酸分子更适合用于探究分子结构对修饰效果的影响。在此基础上,在羧酸分子中引入-CF₃,对ITO进行SAMs修饰,并制备结构为:ITO/SAMs/NPB（25 nm）/Alq₃（60 nm）/Li F（1 nm）/Al（100 nm）的双层绿色荧光器件。引入-CF₃后,器件的启亮电压明显降低,其中4’-三氟甲基-联苯-4-羧酸（3FBCA）修饰的器件的启亮电压低至2.5 V。选择五种共轭程度不同的羧酸分子在ITO表面形成SAMs。接触角测试表明修饰后ITO的表面能有不同程度的降低,UPS测试表明修饰后ITO表面的功函数增加值在0.11 e V～0.30 e V之间。以SAMs-ITO作为阳极,制备如上结构的荧光器件。随着SAMs分子共轭程度的增大,器件的启亮电压逐渐降低,同电压下的电流密度升高。以9-H-咔唑-2-羧酸（CzCA）修饰的器件性能最佳,其启亮电压仅为2.6 V,最大亮度为30418 cd·m^-2。选择与其结构类似的芴-4-甲酸（FCA）和9-芴酮-4-甲酸（FoCA）进行对比,探究杂原子的存在对于修饰效果的影响。根据Gaussian 09模拟计算结果发现N原子会使得SAMs分子的HOMO能级电子云分布偏向分子中部,加之芳香环形成的离域π键,使得CzCA的HOMO电子云分布呈贯通带状,最终带来优异的器件性能。