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本文依次采用电化学沉积、化学浴沉积法以及刮涂法在ITO-PEN衬底上制备柔性ZnO光阳极薄膜,然后将所得的ZnO光阳极薄膜组装成电池。在电化学沉积法中主要研究电解质浓度、沉积电位和沉积温度等工艺参数对ZnO膜形貌和电池性能的影响。在化学浴沉积法中主要研究沉淀剂的种类和六次甲基四胺的浓度对ZnO膜形貌和电池性能的影响。在刮涂法中主要研究Li+掺杂对电池性能的影响。主要实验内容和结果如下:(1)采用电化学沉积法制备ZnO光阳极膜。当电解质浓度为0.10M、沉积电压为-0.85V,沉积温度为60℃时,在ITO-PEN衬底上沉积球状ZnO光阳极薄膜,组装成柔性电池后,电池的开路电压为0.54V,短路电流为1.52mA·cm-2,填充因子为0.44,光电转换效率为0.37%。对该薄膜进行氨活化的处理后,电池的光电性能有所提高。活化后电池的开路电压为0.62V,短路电流为2.53mA·cm-2,填充因子为0.56,光电转换效率为0.88%。(2)采用化学浴沉积法,以醋酸锌为锌源,研究了沉淀剂六次甲基四胺、氨水和乙二胺对ZnO膜形貌和电池光电性能的影响。当沉淀剂为六次甲基四胺时,电池的光电效率最好,开路电压为0.60V,短路电流为2.65mA·cm-2,填充因子为0.70,效率为0.81%。变化六次甲基四胺的浓度分别为0.1M、0.2M、0.3M、0.4M,研究其对电池效率的影响。当六次甲基四胺浓度为0.3M,其光电效率最好,效率为1.12%,开路电压为0.60V,短路电流为2.65mA·cm-2,填充因子为0.72。(3)以Zn(N03)2·6H20和NaOH为原料,采用沉淀法制备ZnO粉体,研究不同浓度的NaOH溶液对ZnO形貌以及对电池的光电性能的影响。当NaOH浓度为0.40M,电池的开路电压为0.6V,短路电流为2.64mA·cm-2,填充因子为0.74,光电效率为1.18%。然后,采用沉淀法制备Li+掺杂ZnO粉体,用刮涂法制备Li+掺杂ZnO光阳极薄膜,组装成电池后,当Li+浓度为0.0024M时,电池的光电转换效率比没有掺杂Li+的电池有所提升,电池的开路电压为0.64V、短路电流为3.53mA·cm-2,填充因子为0.63,光电效率为1.43%;最后,对Li+掺杂ZnO膜进行氨活化的处理,当氨水的浓度为0.03M时,活化10min,氨活化能够提高电池的转换效率,电池的效率从 1.43%增大到 1.94%,其开路电压为 0.63V,短路电流为4.11mA·cm-2,填充因子为 0.75。