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本文根据实际应用需要，论述了透明导电膜的基本原理，介绍了膜系的设计过程，相应的镀制工艺，实验操作系统的应用及原理等。并针对中国航天部用于飞行器上的防霜加热、电磁屏蔽玻璃窗的需求，设计并制备出一种具有可见光透过率高、红外反射率高、电阻率低、机械和化学性能稳定，不仅可以起到电磁屏蔽、隔热作用，而且当薄膜通电加热后，还可除霜的ITO透明导电膜。 制备出的ITO透明导电膜的技术指标为：可见光实现高透T＞98％，方电阻为≤50欧姆。 该实验采用的设备是Integrity-36全自动真空镀膜机，利用电子束和离子辅助系统进行沉积，采用UV3100PC分光光度计测试光谱特性曲线，HL5500PC四探针测量仪测量其方电阻，给出了实验曲线和实验数据，以及综合评价结果。