氟掺杂SiCOH薄膜沉积的等离子体化学特性研究

被引量 : 1次 | 上传用户：cs333333

【摘要】

：

为了解决超大规模集成电路的特征线宽不断减小而导致的互连阻容耦合增大、信号传输延时、功耗增大等问题,多孔超低介电常数(超低k)的SiCOH材料应运而生,成为人们研究的焦点,其中通过引入孔隙来降低SiCOH薄膜密度成为降低介电常数的有效途径。但是过多孔隙的引入会导致材料的力学性能下降、吸湿性能与污染增强等问题。近年来人们正在探索将弱极化键和孔隙相结合,在较低孔隙率的条件下获得性能优异的SiCOH低k薄

【作者】

：

张海燕

【机构】

：

苏州大学

【发表日期】

：

2008年04期

【关键词】

：

SiCOH薄膜质谱分析 F掺杂键结构

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

Na+HF→NaF+H反应体系的量子动力学研究

Na+HF→NaF+H是一个典型的金属卤素Harpooning反应,同时它又在诸多化学反应中起着重要作用,因而引起研究者的广泛关注。从反应体系的构成上来说,该体系总共包含3个核和21个电子,这允许我们可以计算足够多的能量点,从而构造高精度的势能面。实验上,P olanyi及其合作者探究了反应物HF振动能的增加对反应的影响,结果表明当HF的振动量子数为0和1时,反应不发生。Lee 和 Loesch等

学位

切比雪夫波包方法反应物振动激发反应几率积分截面速率常数

通胀无牛市投基看长远

2010年11月国内的CPI突破5％，达到金融危机以来的高点，但民众感受到的物价上涨幅度，应不止这个数字。在物价不断上涨的情况下，银行储蓄显然已不再是一种可靠的储藏财富的方法，股票、基金、房子、黄金、商品、艺术品等都被贴上了抗通胀的标签。　　　　通胀下不利股市债市　　　　国内的基金，目前主要的投资方向无非是股票和债券。长期来看，决定一只股票表现的，是上市公司的盈利。如果一个公司的收入和利润越来越高

期刊

物价上涨幅度牛市银行储蓄通胀压力债市市盈率估值金融危机上证指数配置型基金

带电粒子赝快度分布的研究

美国布鲁克海文国家实验室的重离子碰撞实验(RHIC)于2000年启动，经过近8年的运行，取得了巨大的进展，各方面的证据显示可能已经产生了强耦合的夸克物质或夸克胶子等离子体(QGP)。

学位

带电粒子赝快度分布夸克组合模型

RHIC中强子P<,T>谱的中心度和能量依赖

相对论重离子碰撞(RHIC)的研究动机之一，是为了获取有关解禁闭的热密夸克物质(即夸克胶子等离子体QGP)的存在及其性质的信息。大量的实验事实已经显示，末态强子的性质呈现出许

学位

相对论重离子碰撞PT环路谱热密夸克碰撞中心度碰撞能量依赖关系

从田野中走来的竹根雕艺术大师

自找打铁匠定制全套雕刻工具，刻苦自学竹根雕艺术　　今年53岁的周秉益，1964年出生于浙江象山县大徐镇一个普通农家。周秉益童年时代就喜欢画画，也许受做木工的父亲的影响，他从小尤其对中式家具上的各种雕花感兴趣。　　上世纪80年代初，象山县文化馆开办了当地第一期美术培训班，授课老师中有宁波市的油画家陈继武。已经初中毕业回乡务农的周秉益，因有较好的美术功底，参加了这期培训班。短短几个月下来，周秉益的专业

期刊

浙江象山回乡务农中式家具美术基础油画家根雕工艺品工艺美术品世博会展象山竹根雕工艺美术大师

调Q光纤激光器研究

随着掺铒光纤激光器的不断普及以及现代信息社会对脉冲式激光器的迫切需求,短脉冲光纤激光器获得了越来越多的重视,正处在快速发展阶段。作为短脉冲光纤激光器中应用最广泛、

学位

调Q光纤激光器光时域发射计相干合成光纤光栅环形镜铒纤饱和吸收脉冲输出

氟掺杂SiCOH薄膜沉积的等离子体化学特性研究

其他学术论文