传统三维显微镜采用陶瓷电机以实现三维平台的精确控制,此平台的应用极大的增加了三维显微镜的成本,限制了其更广泛的应用。海尔布隆大学提出了新的测量焦点深度响应对比度的方法,该方法指出传统的测量方法要求很高的相移精度,而新的测量方法在相移误差的影响下仍能保证测量精度,且图像采样次数得到大幅降低,测量效率得到提高。该论文基于此新的测量方法,通过采用通用电机驱动的微位移机构替代传统陶瓷电机驱动的精密定位平台,实现该测量方法的原理验证,在保证测量精度的情况下显著降低了三维显微镜的成本,使三维显微镜能得到更广泛的应用。具体的研究内容和成果如下：1.综合分析三维显微镜的可用空间设计了一个采用由弹性导轨导向的凸轮从动机械机构,并满足新的测量方法所提出的关于图像采集的要求：2.编写了用于步进电机的人机交互界面,对步进电机、工业相机以及Z轴方向载物平台电机的控制进行整合；3.对该机械结构的运动控制进行了实验,实现了采样间距的补偿和优化,并利用此微位移机构对上述测量方法进行了验证。实验结果表明,在保证测量精度的前提下,该微位移机构满足了替代传统陶瓷电机驱动的精密定位平台的要求,同时实现了降低三维显微镜成本的要求。