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MEMS开关在结构上类似微型继电器，但具有速度快的优点。微机械开关没有使用PN结或金属结，消除了半导体开关PN结非线性问题和因扩散电阻等带来的高插入损耗问题，与传统的电子开关相比，具有隔离度电压高，可以实现开关回路与驱动回路完全隔离等优点。在自动测试、控制系统、通信系统的信号通路等领域有着广泛应用潜力，同时，MEMS开关是微机械技术中的一类有代表性的结构，是很多微机械器件的基础。 常见的开关结构有悬臂梁、空气桥和扭转摆三种，目前均采用静电驱动方式。前两种结构又分为串联(较