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声表面波(Surface acoustic wave,SAW)器件由于具有小型化、高可靠、多功能、一致性好、灵敏度高等优点,在雷达、声纳、无线通信、光纤通信以及传感、生物医疗、微流控和片上实验室等领域获得了广泛的应用。传统SAW器件的叉指换能器通常采用金属(Al、Au等)电极材料,其在超高频模式下容易产生质量负载效应,增加寄生,且金属电极不透明,很难使得SAW器件透明隐形。本文提出采用超轻超薄且透明的石墨烯作为SAW器件叉指换能器材料,成功制备了基于石墨烯电极的SAW器件。主要工作有:1.理论分析了SAW产生和传播的机理,建立了声表面波器件的COM模型,对影响声表面波器件性能的参数进行了分析,并研究了叉指电极电阻对器件性能的影响,理论证明了石墨烯做叉指换能器的可行性。2.研究了石墨烯大面积多层转移工艺,分别获得了单层、双层、三层和四层的石墨烯薄膜。采用拉曼光谱仪、原子力显微镜、四探针电阻仪和紫外分光光度计表征了不同层数石墨烯的石墨烯薄膜特性。研究发现随着石墨烯层数从单层增加到四层,石墨烯薄膜表面粗糙度逐渐增大,薄膜方块电阻从250Ω/□下降到76.6Ω/□,可见光透过率从97.7%下降到90.3%。3.制备了基于石墨烯电极的SAW器件,验证了石墨烯作为叉指换能器的可行性。研究了不同层数石墨烯对SAW器件性能的影响:随着石墨烯层数增加,SAW器件的机电耦合系数逐渐增大,插入损耗降低,传输信号幅度增强,表明器件性能更加优良。获得了谐振频率为91.65MHz,传输信号幅度为20dB,机电耦合系数为2.8%的石墨烯电极SAW器件,并对其进行了温度传感测试和湿度传感测试。4.制备了可隐形于玻璃的全透明石墨烯/氧化锌/玻璃的多层膜结构SAW器件,器件的衬底、压电层和电极均为透明,总体可见光透过率大于80%。测试了透明SAW器件的湿度和温度传感特性,并利用湿度传感特性制作了一款可用来监测人体呼吸和身体状态的呼吸传感器。