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超高温薄膜应变计是应用于超高温环境,对试件进行应变测量的微型传感器,这种传感器在试件质量评估及改进方面起到至关重要的作用。NASA早在上世纪90年代就开始了超高温薄膜应变计方面的研究,而国内对这方面的研究仍然比较滞后。在超高温薄膜应变计的结构中,绝缘层和敏感层是最重要的两个功能层。本文采用微纳米制造技术,对超高温薄膜应变计的绝缘层和敏感层进行了相关的研究。(1)配制了稳定的氧化铝溶胶,并测试了溶胶的各项物理性质。为了避免溶胶制备的薄膜在热处理过程中开裂,向氧化铝溶胶中加入氧化铝纳米悬浮液,有效消除了