【摘 要】
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透明导电薄膜的应用遍及太阳能电池、透明薄膜晶体管和平面液晶显示器等领域,其中ZnO基透明导电薄膜光电特性优良,便于获取原料,无毒低价,在光电领域更是有着诸多实际和潜在的应用。由于ZnO基薄膜制备的方式和工艺对薄膜的光电性能有着十分重要的影响,因此本文研究内容有:(1)采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜,研究退火温度、退火气氛对AZO薄膜光电性能的影响。在550℃以上的退火温度中,所制备的AZO薄膜样品
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透明导电薄膜的应用遍及太阳能电池、透明薄膜晶体管和平面液晶显示器等领域,其中ZnO基透明导电薄膜光电特性优良,便于获取原料,无毒低价,在光电领域更是有着诸多实际和潜在的应用。由于ZnO基薄膜制备的方式和工艺对薄膜的光电性能有着十分重要的影响,因此本文研究内容有:(1)采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜,研究退火温度、退火气氛对AZO薄膜光电性能的影响。在550℃以上的退火温度中,所制备的AZO薄膜样品表面致密均匀,经过650℃温度退火的AZO薄膜,其在400nm-900nm区域的光学平均透过率超过85%
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