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微谐振器是微型和纳米机电系统(MEMS/NEMS)的重要组成部分,应用于传感、通信和能量采集等小型机械测试仪器。微谐振器结构阻尼的最小化是提高微谐振器的可靠性和灵敏度,增加频率选择性以及优化能量转换的关键。现有的微/纳机械谐振器主要是通过优化谐振器件的结构、材料表面粗糙度、降低工作压力、热退火以及改变边界条件等方法消除外部阻尼机制(包括空气阻尼、挤压膜阻尼和支撑阻尼等),从而使得结构阻尼基本上由热弹性阻尼控制。而作为谐振器件的固有阻尼,热弹性阻尼是无法避免的,它也是限制微谐振器品质因数的主要因素,因