微细电解加工技术是金属工件在电解液中发生阳极溶解的一种加工过程,在加工过程中阳极金属材料以离子的形式被去除,无切削力和表面内应力,使得加工出的工件表面质量好,加工精度高。在对难加工材料以及复杂形状零件的加工上,有着十分广阔的发展前景,在微纳制造领域具有重要意义。本文提出一种基于正弦信号的电化学微细加工技术。将传统的脉冲信号换成更容易获取的正弦信号,建立了该种加工系统的数学模型,分析了此方法的加工机理,并利用该技术进行了微孔以及二维微结构的微细电解加工实验,加工精度达到了1μm,证明了该方法的可行性并分析了影响电解加工精度的工艺参数。研究了基于正弦信号和可变电阻复合影响的电化学微细加工技术。在加工电路中引入可变电阻,建立了该种加工系统的数学模型,分析了加工精度随正弦信号频率以及可变电阻值的变化规律,改变了加工电路中的加工电压以及时间常数,使电解加工处于暂态加工状态。通过微细电解加工实验将加工精度提高到了450nm,验证了该方法获得高加工精度的可行性。研究了基于复合正弦信号和可变电阻共同影响的电化学微细加工技术。并建立了该种加工系统的数学模型,分析了加工精度随正弦信号频率以及倍频系数的变化规律,结果表明:复合正弦信号能将达到分解电压的时间延长,缩短加工时间,在同一个周期内能够实现更高精度的电化学加工。完成了正向加法器的制作,将两路正弦信号转换为一路复合正弦信号,采用优化的工艺参数进行了微孔和二维微结构的电化学加工,加工精度达到100nm,证明了该加工方法具有明显的优越性。