含挠曲电效应的压电微构件力电耦合特性尺寸效应研究

来源 :山东大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wynneyehui

【摘要】

：

压电微构件具有响应速度快、力电耦合性好、驱动电压低等特点,在微传感器、微驱动器、微谐振器等微器件中得到了广泛应用。这些微器件的性能在很大程度上取决于微构件的力电耦合特性。然而,微尺度下构件的力学特性与宏观尺度有明显不同,呈现出尺寸依赖性。另外,微尺度下,压电构件中除压电效应外还存在挠曲电效应,挠曲电效应随着尺度的减小急剧增强,使构件的力电耦合性能表现出尺度依赖性。压电微构件力学与力电耦合特性的尺寸

【作者】

：

刘宇

【出处】

：

山东大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

压电微构件力电耦合转动梯度效应挠曲电效应尺寸依赖性

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